中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀分辨率達(dá)0.1nm，是一款專用于超精密加工領(lǐng)域的光學(xué)檢測(cè)儀器。

在EMES行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度；

在LED行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；

在集成電路行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在3C領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；

在光纖通信行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度；

在軍事領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度；

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SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀性能特點(diǎn)

1. 特殊設(shè)計(jì)的隔振系統(tǒng)

雙通道氣浮隔振系統(tǒng)既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。

2. 3D重建算法

重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，精度可以打亞納米級(jí)別。

3. 一體化操作軟件

一體化操作軟件，測(cè)量與分析同界面操作，預(yù)先配置好分析參數(shù)，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)快速批量測(cè)量。